Flexibilität Halbleiter-Graphitteile ohne Ölhöhle

Teile aus Graphit für Halbleiter

• Arbeitsprinzip

Der Ionenimplantat ist einer der kleinen Hochdruckbeschleuniger mit der größten Anzahl von Anwendungen.und erhält einen Ionenstrahl mit einer Energie von mehreren hundert Kilovolten nach der BeschleunigungEs wird für die Ionenimplantation von Halbleitermaterialien, groß angelegten integrierten Schaltungen und Geräten verwendet. Es wird auch für die Oberflächenmodifikation und Herstellung von Metallmaterialien verwendet. Film usw.

• Verarbeitungsfluss

• Reinigung: Ultraschallreinigung für 10 Minuten.
• Trocknen: ohne Öl-Hohlraum, 2 Stunden, Temperatur ≥ 200°C
• Verpackung: keine bloßen Hände, Isopropylalkohol-Taschentuch für Halbleiter, Werkzeuge der reinen Qualität, getrennte HDPE- und Blasfilmverpackung, Vakuum-Wärmesiegelbeutel, Kunststoff-Wallplattenbasis
• Etiketten: Etiketten für den Reinraumdruck, Doppelschichtetiketten für Innen- und Außenverpackungen, staubfreies Etikettenpapier für Halbleiter

• Anwendung

Ionimplantate Graphitteile sind eine der Halbleiteranwendungen.Feinkörniges und dichtes Graphit weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit unter äußerst harten Arbeitsbedingungen auf (z. B. durch Ionenstrahlbombardierung oder Plasmastrahl) und kann als Schild verwendet werdenÄhnlich wie bei Eaton, Axcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM und anderen Geräten.

In der Halbleiterindustrie wird hochreines Graphit hauptsächlich als Heizsystem, Isolationsdeckel, Elektrode usw. verwendet.Durch die Verwendung von hochreinem Graphit für diese Teile wird auch die hohe Temperaturbeständigkeit des hochreinen Graphits voll ausgenutztDie Vorteile von hochreinem Graphit, wie z. B. Korrosionsbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit und elektrische und thermische Leitfähigkeit, wurden in der Halbleiterindustrie angewandt.die die Lebensdauer des Werkstücks verlängertWir verwenden deutsche Halbleiter-Graphit-Materialien zur präzisen Herstellung von Graphit-Verbrauchsmaterialien für die Ionenimplantation.Bereitstellung von Standardteilen und kundenspezifischen Produkten.
Hochreines Graphit kann als Material mit niedriger Atomzahl gemäß den Eigenschaften von einheitlichen und feinen Partikeln verwendet werden.starke Korrosionsbeständigkeit, hohe Reinheit, keine Metallionen, keine Verschmutzung von Halbleitern, und Metallteile, die in der Ionimplantationsanlage ausgesetzt sind, verursachen hohe Verluste,Also benutze das entsprechende Graphit-Teil als SchutzdeckelTeile für Plasma-CDV-Plasma-VCD-Suppositor, Elektrodenkammer, Düse, Auskleidung, Sputterelektrode, MovCD-Suppositor usw.

• Vorteil

Gute Qualität, maßgeschneiderte Bestellung, schnelle Lieferung.